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當前位置:首頁產品中心三維光學輪廓儀Sensofar白光干涉儀S neox的涂層厚度測量

白光干涉儀S neox的涂層厚度測量

產品簡介

白光干涉儀S neox的涂層厚度測量:Sensofar S neox通過非接觸式臺階高度測量,可精確量化涂層或薄膜的厚度與均勻性,為質量控制和工藝研究提供關鍵數據。

產品型號:
更新時間:2025-11-17
廠商性質:代理商
訪問量:67
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白光干涉儀S neox的涂層厚度測量

在許多工業應用和科研領域中,對基材上的涂層、薄膜厚度進行精確測量是常見的需求。涂層的厚度直接影響其光學、電學、機械和防腐性能。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀提供了一種非接觸式測量涂層厚度的方法,特別適用于需要測量局部厚度或無法進行截面破壞性檢測的場景。


S neox測量涂層厚度的原理通?;趯ε_階高度的測量。常用的方法是人為制造一個臺階:在涂層上制造一個微小缺口,使基材暴露出來。這可以通過輕微刮擦、使用掩膜或選擇性蝕刻等方式實現,關鍵是確保臺階邊緣清晰。
然后,使用S neox的白光干涉模式或高倍共聚焦模式掃描這個臺階區域。儀器會精確獲取從涂層表面到暴露的基材表面的高度差,這個高度差即為涂層的厚度。
這種方法的優勢包括:
非破壞性(相對截面法):無需將樣品切開制樣,對樣品本身破壞較小。
高分辨率:白光干涉模式可提供亞納米級的垂直分辨率,適合測量從納米到微米級的薄膜厚度。
定位測量:可以精確選擇樣品的特定位置進行厚度測量,研究涂層的均勻性。
同時獲得形貌信息:除了厚度值,還能觀察涂層表面的形貌、粗糙度以及臺階邊緣的質量。


需要注意的是,此方法需要制備一個清晰的臺階,且測量結果的有效性取決于臺階邊緣的質量。對于非常硬或脆的涂層,制備清晰臺階可能需要技巧。對于多層膜結構,測量會變得復雜。

盡管如此,對于許多常見的涂層,Sensofar S neox提供了一種有效的厚度測量方案。它將厚度測量轉化為精確的臺階高度測量,為涂層工藝的質量控制和研究開發提供了一種可供選擇的手段。

白光干涉儀S neox的涂層厚度測量

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