• 環境檢查：確保設備放置在穩固、無強振動、潔凈的工作臺上，環境溫濕度適宜。

  
  

• 開機：依次打開主機、控制器和計算機電源，啟動測量軟件。

  
  

• 樣品準備：樣品表面應清潔、干燥，無灰塵、油污等污染物。對于過小或不平整的樣品，可能需要使用黏土或夾具固定在載物片上，確保測量時穩定。

  
  

• 放置樣品：將樣品平穩放置在儀器載物臺上。如果使用電動載物臺，通常可以通過軟件控制移動，便于尋找測量位置。

  
  

• 選擇物鏡：根據待測區域的大小和所需分辨率，通過軟件控制或手動旋轉物鏡轉盤，選擇合適的物鏡（如5X， 10X， 20X， 50X等）。

  
  

• 預覽對焦：使用軟件的實時預覽功能，通常是在“攝像機"或“預覽"模式下，通過調節Z軸高度（粗調或細調），使樣品表面在屏幕上清晰成像。可以利用軟件的自動對焦功能輔助快速找到焦面。

  
  

• 定位感興趣區域（ROI）：移動載物臺，將需要測量的特征區域移動到視場中心。對于需要測量多個區域的情況，可以使用軟件的多點測量功能預先設定多個位置坐標。

  
  

• 模式選擇：這是S lynx2的關鍵步驟。根據樣品表面特性（如光滑度、粗糙度、反射率）選擇測量模式：

  
  

• 共聚焦模式：更適合粗糙、漫反射表面（如噴砂金屬、涂料、粗糙陶瓷）。

  
  

• 白光干涉模式：更適合光滑、鏡面或半鏡面反射表面（如硅片、拋光金屬、光學表面、薄膜臺階）。

  
  

• 軟件可能提供“智能掃描"選項，能自動分析預覽圖像并推薦模式。

  
  

• 參數設置：

  
  

  掃描范圍（Z軸）：設置垂直掃描的起始和結束位置，確保覆蓋樣品表面的最高點和zui
  低點。可先進行快速預掃描來大致確定范圍。

  
  

• 掃描步長：步長越小，垂直分辨率越高，但掃描時間越長。需要根據表面粗糙度和精度要求平衡設置。

  
  

• 其他參數：如光源強度、相機曝光時間、掃描速度等，可根據樣品反射情況進行微調，以獲得良好的信號對比度。

  
  

• 確認參數后，啟動掃描。設備將自動控制Z軸移動，并在每個步長位置采集圖像。掃描過程中應避免振動和觸碰設備。

  
  

• 掃描完成后，系統會自動處理原始數據（如分析共聚焦的強度峰值或白光干涉的相關峰），生成初步的三維形貌圖。

  
  

• 數據修正：軟件通常提供一些數據后處理工具，如去除傾斜平面（Leveling）、去除異常噪聲點（Spike Removal）、中值濾波等，以改善三維形貌圖的視覺效果和分析準確性。

  
  

• 三維可視化：可以從不同角度旋轉、縮放三維形貌圖，觀察表面起伏。可以調整燈光和顏色映射，以突出顯示高度差異。

  
  

• 定量測量：這是核心分析步驟。軟件工具庫通常包括：

  
  

• 尺寸測量：點、線、面的長度、高度、角度、半徑等。

  
  

• 面積與體積：計算選定區域的表面積、投影面積、體積、凹槽容積等。

  
  

• 粗糙度分析：按照ISO 25178等標準，計算表面粗糙度參數（如Sa, Sq, Sz等）。

  
  

• 臺階高度測量：自動或手動測量不同平面之間的高度差。

  
  

• 輪廓分析：提取任意截面線，分析其輪廓曲線。

  
  

• 多區域與統計分析：對于批量樣品或同一樣品上的多個相同特征，可以設置模板進行自動測量，并生成統計報告（如平均值、標準差等）。

  
  

• 將處理后的三維形貌圖、二維圖像、測量數據和分析圖表保存為工程文件。

  
  

• 使用軟件的報告生成器，將關鍵圖像、數據表格和統計結果整合到自定義的報告中，導出為PDF、Excel等格式，便于存檔、打印或分享。

  
  

通過遵循上述流程，用戶可以相對系統地完成從樣品準備到結果輸出的整個測量任務。熟練操作后，可以進一步探索軟件的高級功能，以應對更復雜的測量需求。

共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 操作流程