共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 軟件分析功能
S lynx2配套的測量分析軟件是將原始光學數據轉化為可視化結果和量化信息的關鍵。該軟件通常集成了從數據采集、處理到分析報告的全套工具,旨在提供較為完整的表面計量解決方案。
1. 數據采集與掃描控制:
軟件提供圖形化界面來控制硬件,包括選擇物鏡、調節光源亮度、設置掃描范圍與步長、選擇測量模式(共聚焦/干涉)等。實時預覽窗口幫助用戶定位測量區域和對焦。可設置多點、多區域的自動測量序列,提高批量檢測效率。
2. 三維形貌可視化與處理:
3. 二維剖面與輪廓分析:
輪廓提取:用戶可以在三維形貌圖上任意位置畫一條線,軟件立即提取并顯示該線的二維截面輪廓曲線。
輪廓分析:對輪廓曲線進行詳細分析,可測量臺階高度、角度、曲率半徑、水平距離等。可以按照ISO 4287等線粗糙度標準計算Ra, Rz, Rq等參數。
4. 三維表面紋理與粗糙度分析:
這是軟件的核心分析模塊之一,遵循ISO 25178等面粗糙度國際標準。用戶可以選擇一個或多個矩形或任意形狀區域,軟件自動計算一系列三維表面紋理參數,例如:
高度參數:如算術平均高度Sa、均方根高度Sq、最大高度Sz等,描述表面的垂直起伏。
空間參數:如紋理方向、紋理對比度等,描述表面紋理的分布特性。
功能參數:如表面承載面積比曲線、峰頂體積等,用于研究表面的摩擦、磨損、密封等功能特性。
5. 幾何尺寸測量:
軟件提供豐富的幾何測量工具,可以直接在三維形貌圖或二維視圖上進行:
點、線、面測量:測量兩點間三維距離、空間角度、直線的長度和方向、平面的面積和傾斜度。
體積與面積測量:計算指定區域上方或下方的體積(如凹坑容積、凸起物體積)、表面積、投影面積等。這對于分析材料磨損量、涂層用量、孔隙率等有用。
臺階高度與薄膜厚度:通過定義基準平面和測量平面,自動計算臺階高度或薄膜厚度(需樣品有清晰臺階)。
6. 統計分析與批量處理:
多區域統計:對同一表面的多個相同特征(如多個焊點、顆粒)進行測量,自動計算平均值、標準差、最大值、最小值等統計量。
批量報告:對于按序列測量的多個樣品或區域,可以自動生成匯總報告,包含所有測量結果和統計信息。
數據比較:可以將不同批次或不同工藝處理的樣品測量數據進行比對分析。
7. 數據輸出與報告生成:
數據導出:三維形貌數據、二維輪廓數據、測量結果等可以導出為通用的ASCII, CSV, Excel等格式,方便導入到SPC(統計過程控制)系統或其他專業分析軟件。
圖像導出:三維視圖、二維圖像可以保存為圖片格式(如PNG, JPEG, BMP)。
自定義報告:用戶可以利用內置的報告編輯器,將選定的圖像、圖表、數據表格和文本說明組合成結構化的測量報告,模板可定制,并導出為PDF或Word文檔。
通過這套集成的軟件分析功能,S lynx2的用戶不僅能夠“看到"表面形貌,更能對其進行深入的量化表征和統計分析,從而為質量判定、工藝優化和科學研究提供客觀的數據支持。
共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 軟件分析功能